技术编号:6174212
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种非接触式检测曲面棱镜的方法及装置,首先将单色平面光射入到待测曲面棱镜后,形成球面波与平面波的叠加;再通过平面棱镜调整波面的传播方向,并通过校正镜组校正所述待测曲面棱镜成像引入的像差;由图像接收器件接收校正处理后的图像,所述图像接收器件接收到的是衍射造成的点扩散图样;根据所述图像接收器件接收到的图像判别所述待测曲面棱镜是否达到精度要求。该检测方法采用非接触测量,不损伤元件加工面,通过图像即可判定加工是否合格,可作为在线快速、批量检测Fery棱...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。