技术编号：6174256
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明揭示了一种磁传感器及其制备工艺，所述制备工艺包括在基底上沉积介质材料，形成第一介质层；在第一介质层上形成沟槽阵列；沟槽开口处的宽度大于深度；沉积磁材料，形成磁材料层；在磁场中进行退火，退火气氛为氮气，或为惰性气体，或为真空；制备填充材料，形成填充材料层，并且把沟槽填平，随后进行光刻工艺；生成磁传感器的图形，形成感应单元，同时通过沟槽的应用形成导磁单元，即在单芯片上形成三轴传感器；制造通孔和电极。本发明提出的三轴传感器及其制备工艺，可优化工艺的流程，并...
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