技术编号：6175194
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明揭示了一种磁传感装置的制备工艺，所述装置包括第三方向磁传感部件，第三方向磁传感部件包括基底、导磁单元、感应单元；基底表面开有沟槽；导磁单元的主体部分设置于沟槽内，用以收集第三方向的磁场信号，并将该磁信号输出到感应单元进行测量；感应单元设置于所述基底表面上，用以接收所述导磁单元输出的第三方向的磁信号，并根据该磁信号测量出第三方向对应的磁场强度及磁场方向；感应单元包括磁性材料层及设置于磁性材料层上的金属电极层；一个感应单元包括两个相邻的梳齿状电极，位于一...
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