技术编号:6175233
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种大型环抛机抛光胶盘在线检测装置,该装置包括激光器,沿该激光器发出的激光束方向依次是聚焦透镜、第一反射镜的中心小孔和第二反射镜;在第二反射镜的反射光方向依次是第一标准镜和第二标准镜;在第一反射镜的反射光方向是读数屏和设置在读数屏上的位移测微器。本发明对大型环抛机抛光胶盘的在线检测直观且准确,大大提高了工作效率。该装置结构简单、操作方便、稳定可靠、精度较高,不仅大大消除了工件搬运过程的安全性,而且避免了外界杂质的引入而对工件表面造成损伤。专利说明大型环抛机...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。