一种共聚焦测量涂镀层厚度的方法技术资料下载

技术编号:6175281

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本发明提供,采用机械手段在涂镀层表面钻出圆锥型小孔,利用激光共聚焦显微镜三维成像技术对剖面为V型孔进行成像处理,采用共聚焦高度差测量功能测量V型孔内涂镀层与基板结合部和涂镀层外表面之间的高度差,从而分别确定彩涂涂层面漆厚度、热浸镀层厚度及彩涂涂层底漆厚度。本发明勿须考虑圆锥度等问题,可真实再现涂镀层厚度,极大提高测量精度,并可测量微区涂镀层厚度,考查涂镀层的均匀性。根据涂镀层与基板的自身特点略加改变,本发明方法可适用于电镀层、PVD镀层、CVD镀层等多种类...
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