技术编号:6175475
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种基于光纤波导的微区激光探针成分分析仪,包括NdYAG激光器、波长可调谐激光器、CCD监控相机、计算机、光栅光谱仪、聚焦物镜、位移平台、数字延时脉冲发生器、增强型CCD;聚焦物镜为反射式聚焦物镜,NdYAG激光器和波长可调谐激光器均使用光纤波导进行激光脉冲的传输,并经光纤准直镜准直,扩束镜扩束后进入所述聚焦物镜,由NdYAG激光器发射的激光脉冲用于对待分析样品表面微区进行烧蚀产生等离子体,由所述波长可调谐激光器发射的激光脉冲用于在所述等离子体...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。