技术编号:6175806
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明揭示了一种磁传感装置的制备工艺,包括如下步骤在基底的表面设置沟槽;在基底表面沉积磁性材料,形成磁性材料层;磁性材料层包括设置于基底表面的第一部分及沟槽内的第二部分;回刻位于基底表面的磁性材料层的第一部分;沉积第一介质材料;沉积光刻胶,曝光,显影;刻蚀形成ARM图形;沉积第二介质材料;通过光刻工艺和刻蚀工艺形成接触窗口;沉积金属层,并刻蚀,形成感应单元的电极层。本发明提出的磁传感装置的制备工艺,通过提高第三轴的磁性材料的物理厚度,从而增加第三轴的感应能...
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