同轴光检测柱孔圆度和直线度的装置及方法技术资料下载

技术编号:6176031

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本发明涉及一种,在非接触、非破坏的前提下,利用中心开有小孔的圆锥透镜形成的同心激光束实时检测零件柱孔的圆度和直线度,属于光学检测。背景技术在精密或者超精密机械加工领域,如何控制柱孔的圆度和直线度事关零件的配合、旋转精度,直接关系到摩擦、振动、噪声等,进而影响零部件的使用寿命和能耗。因此,需要准确评定柱孔圆度和直线度,评定结果不仅为零件的验收提供依据,而且也有助于提高 零部件加工精度和装配精度。所述评定其前提是柱孔圆度和直线度的检测。所述柱孔指圆柱内孔,柱孔...
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