激光干涉抛物面对称测量装置制造方法技术资料下载

技术编号:6176154

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本发明公开了一种激光干涉抛物面对称测量装置,包括测试搭载部和检测部,其中,测试搭载部包括标准反射镜单元和用于接收干涉图样的截取屏,检测部包括光栅屏和固定于其上的激光柱状光源,激光柱状光源设置在光栅屏的中间对称面上,待测反射镜单元与标准反射镜单元也以中间对称面对称安装;以中间对称面为对称,光栅屏上设置有若干对相互平行且能够独立开闭的光栅,一对相互对称的光栅分别对应于待测反射镜单元、标准反射镜单元上相同的曲率片段,若干对相互对称的光栅分别依次对应于镜面上的不同...
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