技术编号：6176396
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种属于微纳米力学、精密计量领域。传感器采用一组对称的细长梁或两组串联的细长梁，平行布置且一端固支，通过限位端限制细长梁的变形，通过设置探针和电容施加载荷并测量位移。使用时，将双梁预先沿轴线压曲失稳，然后保持其失稳模态；通过适当引入梁的横向位移，在一定载荷范围内可以得到双梁在很小的轴向力作用下，获得显著的横向位移变化，通过屈曲失稳公式计算载荷，或通过预先标定，直接由位移变化获得被测微力的数值。本发明结构简单，灵敏度高，可以形成不同测量范围的序列传感器，因而...
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