技术编号：6176652
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种三轴加速度计，包括基板、检测质量块、支撑基座及至少一个第一梳齿状电容组，支撑基座固定在基板上，检测质量块通过一相对设置的弹片以非对称的方式悬置在支撑基座的表面，在基板上相对设置有至少两个电极，电极分别对应于检测质量块质量较大的一侧和质量较小的一侧，用于与检测质量块形成电容，第一梳齿状电容组设置在弹片所在直线与电极之间，当加速度计存在一平行于基板平面的第一方向的加速度时，第一梳齿状电容组的电容发生变化。本发明的优点在于，第一梳齿状电容组设置在弹...
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