技术编号:6176790
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了,首先在无加速度情况下标定出谐振梁维持谐振振幅恒定的直流驱动电压与其谐振频率的单调变化关系曲线,然后在有加速度情况下对直流驱动电压和谐振频率进行测量,结合先前获得的关系曲线将温度引起的谐振频率从测量得到的谐振频率中减去,完成温度补偿工作。本发明提供的硅微谐振式加速度计温度补偿方法,克服了传统直接温度补偿方法中温度场分布的不确定性和热传导延迟给补偿结果带来较大偏差的缺陷,能够实现实时的、高精度的温度补偿;本发明方法的温度补偿成本低,不需要额外增加...
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