技术编号：6176929
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了，包括第一步骤，将已氧化的AFP探针针尖朝上贴在FIB样品座上；第二步骤，将FIB样品座导入到FIB真空腔中，通过调整样品座角度让针尖正对离子束方向，随后执行E-beam与I-beam共焦，然后将样品座倾斜一个倾斜角度，保证I-beam与探针针尖基本垂直；第三步骤，用拉小窗口的方式打开I-beam，使得将离子束的扫描区域从全屏扫描更改为作为所设定的部分区域扫描的探针针尖部分，以对探针针尖进行连续扫描，并且在利用E-beam观测出探针针尖表面氧化...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。