技术编号：6177157
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及测定扫描型探针显微镜所使用的悬臂的探针曲率半径的方法。背景技术在扫描型探针显微镜中，由于探针的顶端形状直接涉及与样本的接触状态，因而为了把握样本表面的形状测定和物性测定的测定性能，必须预先测定探针的顶端形状。另夕卜，实际上，与探针的顶端形状本身相比，大多将探针顶端假定为半球形，利用其半径或直径来表现探针顶端的尖锐度。一直以来，作为测定探针的顶端形状的方法，使用了基于电子显微镜的观察和由扫描型探针显微镜测定尖锐的针状的样本(以下，称为探针形状检测用...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。