技术编号:6177399
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及湿度测量领域中湿度传感器及其湿敏元件的制备方法,具体地说是涉及。其基板上带有叉指电极,在基板上设有通过二维有序多孔TiO2薄膜和聚电解质复合而成的复合湿敏材料,且二维有序多孔TiO2薄膜是通过模板法沉积在基板上带叉指电极的一侧。本发明的聚电解质二氧化钛复合型湿敏元件,具有良好的湿敏响应性能,其湿度测量范围在11~95%RH之间,测量范围广,响应线性好,灵敏度高,湿滞小(<2%RH),吸附的响应时间1~2s,脱附的响应时间小于20s,重复稳定...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。