技术编号：6178290
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种闭环驱动电路，尤其是一种采用斩波技术的MEMS微加速度计闭环驱动电路，属于MEMS技术与CMOS技术融合设计的。背景技术MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)技术是当今 IC 行业发展的一大热点领域，其中以微加速度计为代表的器件已经在多方面得到应用，但是传统的MEMS技术仍然面对诸多技术难题，其中以信号微弱、无法与CMOS工艺兼容和谐振频率的偏移等技术成为现在发展的主要限制因素。发明内容本发明的目的是克...
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