技术编号:6179387
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及纳米薄膜材料性能测试设备,特别涉及一种适用于沉积在基底上的纳米薄膜力-热复合式原位加载系统。背景技术材料是人类赖以生存和发展的物质基础。材料的研究对国民经济建设、国防建设、人民生活等有着重大意义,在国内外受到普遍重视。随着近年来纳米科学技术的兴起,纳米功能复合材料、沉积有纳米级尺度涂层的薄膜材料等迅速成为人们的关注焦点。而微电子机械系统正是纳米薄膜材料应用的关键领域之一。微电子机械系统MEMS (Micro-Electro-Mechanical ...
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