技术编号：6179795
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了，包括质谱仪；还包括控制系统、配气系统、压力控制器、抽气装置、至少一个控制阀、至少一个进样口；所述抽气装置通过连接管与压力控制器连接；所述配气系统通过连接管与所述控制阀连接；所述进样口通过连接管与所述控制阀连接；所述控制阀与所述压力控制器通过第一三通接头与所述质谱仪连接；所述质谱仪与所述控制系统电联接；所述配气系统与所述控制系统电联接；所述控制阀与所述控制系统电联接；所述压力控制器与所述控制系统电联接。本发明基于质谱仪的自反馈气体定量装置操作简...
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