技术编号:6179911
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种,包括以下步骤提供微尺度试件;对试件进行表面处理;将试件置于聚焦双束系统下,聚焦双束系统采用电子束在试件表面进行微区定位;以及聚焦双束系统采用离子束在微区进行沉积点阵结构以形成光栅。该方法可以用于微纳米薄膜表面制备变形传感元件-高密度云纹光栅结构的制备,对薄膜表面的损伤小,可以制备不同频率适用于不同测量范围的光栅点阵结构,可以对试样表面的微区域进行实时定位加工,还可适用于不同基底材料表面的微区光栅制备。该方法具有通用性好,损伤小的优点。专利...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。