技术编号:6180383
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种基于扫描近场光学显微镜的对光波导通光性能进行测试的方法,该方法基于包括激光器、具有光波导的光波导器件、扫描驱动装置、输入近场光纤探针、输出近场光纤探针、信号发生器、锁相放大器、微纳操作臂、探测设备、控制箱和计算机的测试系统实现,包括首先把制备的波导器件用胶粘剂粘在样品盒上;然后通过电镜寻找到光波导的位置,通过微纳操作臂将近场光纤探针移到光波导的某处,通过输入近场光纤探针引入光信号;输出光信号经输出近场光纤探针传输到探测设备中;通过扫描台驱动...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。