技术编号:6180750
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种抗高过载的MEMS陀螺,硅片中设有质量块(6),它通过连接梁(1)固支于锚点(7),在质量块(6)的四周对称分布着带有防撞凸点(4)的固定块(3),质量块(6)中心掏空区域设置有带防撞凸点(5)的中心固定块(2),其特征在于所述质量块(6)上设有一组网格空腔(6a)。本发明具有如下优点网格空腔质量块的侧壁在碰撞过程中起到了弹性过载保护面的作用,它和防撞凸点共同作用可以释放高冲击产生的高冲击力,有效保护器件敏感结构,提高了器件抗高过载能力。本发...
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