技术编号:6181229
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请提供了,包括将样品切割成预设形状;对所述样品表面进行粗磨;采用氧化铝砂浆和/或氧化铝粉末对所述样品表面进行细磨;使用氧化铝悬浮液,或者,含氧化铝与金刚石的混合悬浮液对所述样品进行粗抛光;清洗所述样品后,将样品粘在预置的玻璃片上;将所述样品切割下来后进行磨片,将所述样品的厚度减少到10-15μm;使用氧化铝悬浮液,或者,含氧化铝与金刚石的混合悬浮液对所述样品进行粗抛光;使用氧化铝悬浮液或者氧化硅悬浮液对所述样品进行细抛光;使用离子溅射在所述样品表面喷镀...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。