技术编号:6182199
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种单组份动态配气装置,包括原料气质量流量控制器、稀释气质量流量控制器、混合器,所述稀释气质量流量控制器出口与混合器的入口相连,还包括原料气接入球阀和原料气输出球阀,该原料气接入球阀和原料气输出球阀均为多通球阀;所述原料气质量流量控制器的数量至少为两个,且量程等比增长,等比增长的公比不小于5;所述原料气质量流量控制器通过原料气接入球阀接入原料气,并通过原料气输出球阀与混合器的入口相连。本发明提供较宽的稀释比范围,用一种浓度的原料气即可配制出满足...
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