技术编号:6182651
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。所属领域本发明涉及一种微型电容式壁面剪应力传感器及其制作方法,特别涉及一种基于硅通孔技术的背孔连接的微型电容式壁面剪应力传感器,属于传感器。背景技术近壁流动参数,尤其是壁面剪应力是研究、判断流场形态以及边界层状态等的重要参数,也是对飞行器以及水下航行器开展外形优化设计以及减阻降噪设计的重要参考依据。用于测量剪应力的常规传感器,主要包括摩阻天平、普雷斯顿管(Preston tube)、斯坦顿管(Stanton tube)等。受加工手段的限制,其尺寸较大,动态...
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