技术编号：6182704
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种根据权利要求1前序部分的微机械结构。背景技术这样的结构通常是公知的。例如由文献DE 197 19 779 Al已知一种具有一通过悬挂弹簧可运动地悬挂在衬底上的感振质量的加速度传感器。在加速度传感器加速时，在感振质量上作用惯性力，惯性力使得感振质量相对于衬底偏移。偏移的程度借助检测装置测量。检测装置包括一由相对衬底固定的固定电极和固定在感振质量上的配对电极组成的梳形电极结构。为了测量该偏移，对固定电极和配对电极之间的电容量的变化进行分析处理。感...
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