技术编号：6182957
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光学精密测量，涉及一种。该方法通过差动共焦定焦原理配合平行平晶精确定位被测表面的焦点位置，进而实现超大曲率半径的高精度测量。本发明提出差动共焦定焦原理与反射腔式折叠光路原理相结合的方法，具有被测件移动距离小、测量精度高、测量速度快、抗环境干扰能力强、对被测表面无损伤等优点，可用于超大曲率半径的高精度非接触测量。专利说明[0001]本发明属于光学精密测量，可用于超大曲率半径的检测与光学系统装配过程中的高精度超大曲率半径测量。技术背景[0002]高精...
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