技术编号：6183143
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种基于MEMS技术的接触式四电极盐度传感器，包含石英基片衬底、Si3N4粘附层和铂金属电极，所述Si3N4粘附层位于石英基片底衬的上表面，所述铂金属电极位于Si3N4粘附层之上；所述铂金属电极包含接触区、电导率感应电极和温度感应电极；所述基于MEMS技术的接触式四电极盐度传感器的正面和背面还各包含一层Si3N4保护层，正面Si3N4保护层刻蚀出窗口，露出电导率感应电极和温度感应电极。本发明还公开了一种基于MEMS技术的接触式四电极盐度传感器的...
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