一种基于石墨烯膜的光纤法珀声压传感器制作方法及其测量方法、装置制造方法技术资料下载

技术编号:6183232

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本发明公开了一种基于石墨烯膜的光纤法珀声压传感器制作方法及其测量方法、装置,该传感器基于石墨烯膜和光纤法珀干涉光学原理制成。首先,清洗处理单模光纤和转移石墨烯膜,并将石墨烯膜吸附至氧化锆单模插芯;然后,将处理后的单模光纤从另一端插入氧化锆插芯。这样,通过由单模光纤端面和石墨烯膜组成法珀干涉的两个反射面,形成光纤-空气-石墨烯膜干涉腔,并搭建干涉腔腔长检测装置,应用双峰法解调干涉光谱信号,实现微弱声压信号的高灵敏度检测。该传感器具有制作简单、高灵敏度、体积小...
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