技术编号:6183331
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了一种,包括采用钝化层膜的量测薄膜堆积模型,并通过椭偏仪方法来量测钝化层膜厚量,其中钝化层膜的量测薄膜堆积模型包括从下至上依次直接堆叠的Al层、TiAl3层、TiN层以及氧化物层。椭偏仪方法包括步骤利用光源发出单色光,随后使单色光经过起偏器产生具有特定光谱的椭偏光,随后将椭偏光入射至产品钝化层表面,此后利用旋转分析仪收集从钝化层表面反射的反射光,此后使反射光进入光谱探测仪进行光谱分析以获取反射光光谱;最后根据量测薄膜堆积模型通过计算椭偏光的特定光...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。