技术编号:6183894
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种压缩冷冻法回收LED混合废气中氨气的实验装置及其验证方法,主要用于验证在半导体发光二极管(简称LED)在氨气和三甲基镓气相沉积成GaN,生产过程中排出氨气、氮气、氢气混合气体,用压缩冷冻法工艺回收混合气体中少量的氨气,在工艺设计过程中验证化工艺软件测算的正确性,防止设计与实际实施过程中可能会产生的偏差,提高设计精度,减少投资损失的方法。专利说明一种压缩冷冻法回收LED混合废气中氨气的实验装置及其验证方法[0001]本发明涉及LED生产中处理...
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