技术编号:6184918
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种在材料试样1中产生光滑表面23的方法,包括通过粒子束蚀刻将第一材料量去除来产生基本光滑的第一表面区域21,其中,所述第一材料量由所述第一表面区域部分地限定,并且其中,射束方向15与第一表面区域21的表面法线之间的角度大于80°且小于90°;并且通过去除第二材料量II来产生基本光滑的第二表面区域23,其中,所述第二材料量由第一表面区域21′部分地限定且由第二表面区域23部分地限定,并且其中,所述射束方向15与第二表面区域23的表面法线之间的角度α小于60...
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