技术编号:6184971
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了一种,包括提供一光刻版模板,所述光刻版模板具有刻度尺标记图案;使用所述光栅与所述光刻版模板对一测试样品进行光刻工艺,以在所述测试样品上形成与所述刻度尺标记图案对应的刻度尺标记;将所述刻度尺标记的边缘的刻度与一标准刻度进行比较,以确定光栅位置是否正常。在本发明提供的中,通过光刻工艺,将所述光刻版模板上的刻度尺标记图案转移到所述测试样品上,使得所述测试样品上具有所述刻度尺标记。通过将所述刻度尺标记的边缘的刻度与所述标准刻度进行比较,可以明确判断光栅...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。