技术编号:6185514
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种电容式表面微机械加工残余应力测试结构,包括衬底、两块下极板和上极板、直角梁和两个锚区;下极板沉积于衬底上表面;两个锚区置于衬底上;上极板悬置在下极板上方,直角梁以上极板为轴分为完全对称的两部分,每一部分包括两个直角边,其中一个直角边连接上极板的一侧,另一个直角边固定在一个锚区侧面;上极板与直角梁位于同一平面,该平面与衬底所在平面平行;两块下极板与上极板之间分别形成平板电容C1和C2。结构层残余应力在引起上极板的平移后,电容C1和C2会发生变化,通过ME...
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