技术编号：6186955
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种高精度基于金属弹性元件的挠曲电式压力传感器，包括测量微压力引起机械振动的金属弹性元件，在所述金属弹性元件的顶部粘贴有挠曲电介电薄膜，周边设置有绝缘层，所述挠曲电介电薄膜上下表面分别设置有上金属电极和下金属电极，所述挠曲电介电薄膜的上金属电极和下金属电极分别连接有两条输出测量电荷信号的引线，所述金属弹性元件下方具有施加压力的压力通道，所述挠曲电介电薄膜连同上金属电极和下金属电极均置于外壳内，两条引线的一端从外壳引出；本发明通过施加压力与金属弹性元件中机械...
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