技术编号:6186963
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造设备领域,尤其是涉及,该装置包括主体部分和用以控制主体部分的控制单元,该主体部分包括运动平台,其具有X轴和Y轴,X轴与Y轴定义一运动平面,Y轴可用以承载晶圆;第一Z轴,装设在X轴上并可相对于运动平面垂直运动;线阵相机,装设在第一Z轴上并通过第一Z轴调焦,用于晶圆表面瑕疵检测;第一光源,用来辅助线阵相机进行图像采集;第二Z轴,装设在X轴上并可相对于运动平面垂直运动;面阵相机,装设在第二Z轴上并通过第二Z轴调焦,用于晶圆表面瑕疵复查;第二光...
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