技术编号：6187267
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了一种多轴电容式加速度计，所述多轴电容式加速度计的XY轴结构层的弹性结构采用中间长、两边递减的扇形结构，该扇形结构具有较好的应力释放能力，并且相对于传统的长条形的折叠梁结构而言其长度较短，形成于基底上的用作布线的第一层多晶硅可不经过所述弹性结构正下方，可减小工艺制作过程中由于底层布线形成的台阶对所述弹性结构性能的影响。专利说明多轴电容式加速度计[0001 ] 本发明涉及一种探测加速度的微机电结构，尤其涉及一种多轴电容式加速度计。背景技术[0002...
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