技术编号:6188299
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微机械陀螺测试装置,具体涉及一种批量微机械陀螺测试装置。背景技术微机械陀螺的生产主要采用微机械加工和真空封装,在整个生产环节存在着诸多误差影响微机械陀螺的性能,如残余应力、刚度耦合、阻尼耦合、驱动和检测轴不对称等结构误差。同时真空封转气密性好坏也影响到微机械陀螺的性能。因此,在微机械陀螺的研制过程中就必须进行性能参数的测试与筛选。目前国际上已经研发出了 一些有价值的微陀螺测试设备。如Veeco公司的MEMS3500,但此类固定安装的专用设备,价格...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。