技术编号:6188411
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了一种回柱形微机械固体波动模态匹配陀螺,包括一个顶端四角含正方体突出的回柱形谐振子、四个在回柱形谐振子顶端正方体突出上或其附近沿谐振子侧面分布的驱动电极、四个在回柱形谐振子顶端正方体突出上或其附近沿谐振子侧面分布的检测电极,四个驱动电极的空间位置与四个检测电极互相垂直。本发明利用回柱形谐振子的驱动模态和检测模态互相匹配进行工作;给回柱形谐振子上的两个驱动电极施加交流电压,由逆压电效应或电容感应效应产生回柱形谐振子在驱动模态振动;当存在输入角速度时...
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