技术编号:6188488
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种棱镜式环形激光器光路共面度检测系统,包括固定在基座上的待检棱镜式环形谐振腔,沿棱镜式环形谐振腔的一角上设有与外源稳频激光器出射激光束相对应的半反射、半透射镜,另设置有三块能够反射出射激光束的全反射棱镜,在三个全反射棱镜的任意一个外侧加装有衍射辅助光阑;与半反射、半透射镜a反射的激光束水平位置设有全反射镜,与全反射棱镜反射和全反射镜反射的激光束垂直相交处设有半反射、半透射镜b;半反射、半透射镜b反射的激光束对应设有光功率计,半反射、半透射镜b...
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