技术编号:6189986
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种,其中,装置包括工作用容积体和参考容积体,所述工作用容积体和所述参考容积体通过第一阀门连接,所述参考容积体通过第二阀门连接有第一非蒸散型吸气剂泵,所述参考容积体通过第三阀门连接有抽气系统,所述工作用容积体通过第四阀门连接有第二非蒸散型吸气剂泵,所述工作用容积体连接有真空计。上述方案,通过第一非蒸散型吸气剂泵、第二非蒸散型吸气剂泵相应的选择性抽除工作用容积体及参考容积体壁面脱附的活性气体,维持了工作用容积体及参考容积体内静态压力,进而提高了工作...
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