技术编号:6190496
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明总体上涉及微机电系统(MEMS)领域。在一方面中,本发明涉及MEMS惯性传感器器件及其操作方法。背景技术微机电系统技术逐渐用于使用常规批量半导体加工技术将机械元件、传感器、致动器以及电子器件集成到非常小的机械结构上。例如,惯性传感器可以用MEMS器件形成在集成电路晶片衬底上以形成各种应用,诸如用于检测角速度的MEMS陀螺仪。然而,常规MEMS陀螺仪有由各种设计和制造缺陷引起的性能限制。因此,需要一种解决本领域各种问题的改进的MEMS陀螺仪装置、系统以...
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