技术编号：6190578
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种CMOS片上三维微型磁检测传感器的霍尔传感单元，其特征在于包括至少一个用于检测Z方向磁感应分量的水平霍尔器件和若干个用于检测X和Y方向磁感应分量的垂直霍尔器件，所述水平霍尔器件与垂直霍尔器件通过分布组合的方式设于CMOS片上。有益效果为能够在100um*100um以内的芯片上以低成本实现精确测量某点磁通量密度B矢量的大小和方向；还能把信号调理电路与传感单元以最近的方式连接，对降低噪声和提高灵敏度极其有利；同时能把数字信号处理部分集成在同一芯片...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。