技术编号：6190768
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种激光扫描热波成像膜层厚度测量方法，采用高功率线状激光束对试件表面进行快速扫描，试件表面在扫描方向上的不同位置具有不同的热激励时间，采用热像仪将这些不同位置的热波信号同时记录下来，可以得到试件的热波信号随时间变化的曲线，再将得到的曲线与理论模型进行拟合，从而得到被测试件的厚度。本发明通过上述技术方案，采用激光扫描方式进行高帧频采集，实现对较薄膜层的厚度测量。专利说明[0001]本发明涉及一种基于热波成像技术的膜厚测量方法，特别是激光扫描热波成像...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。