技术编号:6190890
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种测振系统,用于测量工作台的振动,具有光源发射部、光学分束部、图像采集部和图像处理部,光学分束部采用分束镜,反射部包括均与工作台连接的第一反射单元和第二反射单元,第一反射单元包括第一反射镜和第二反射镜,第一反射镜将第一反射光束垂直反射至下方的第二反射镜,第二反射镜将第一反射光束再反射回第一反射镜,第二反射单元包括第三反射镜和第四反射镜,第三反射镜将第一透射光束垂直反射至下方的第四反射镜,第四反射镜将接第一透射光束再反射回第三反射镜,第二反射镜的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。