技术编号:6190947
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开一种白光垂直扫描干涉开环控制来实现表面轮廓测量的方法,集成了无闭环控制的线性或者旋转编码器和其输出信号(编码值)的光程差驱动装置,它集成到一个白光垂直扫描干涉仪(WLSI)来产生计算表面高度差所需的一系列有序的干涉图谱。使用的光程差驱动装置,适用于任何一种能够集成线性或者旋转编码器和其输出信号(编码值)处理方法和技术作为扫描时间(高度)的微移动装置,白光垂直扫描干涉仪(WLSI)例如Mirau干涉仪和Michelson干涉仪的结构。为了克服开环控...
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