技术编号:6191231
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种气敏传感器,包括由下至上安装的基板、底电极、绝缘层、上电极引线层、敏感薄膜层和上电极组成,所述的敏感薄膜层为稀土金属酞菁LB膜敏化大带宽金属氧化物纳米孔道阵列结构,如TiO2纳米管阵列。本发明还提供了所述气敏传感器的制备方法。本发明提供的气敏传感器结构新颖、易于集成。本身体积可控,为传感器的小型化、轻型化、集成化提供了便利。因其在室温下工作,在化工、医药、食品工业等都具有非常广阔的应用前景。专利说明[0001]本发明涉及传感器,具体涉及可在...
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