技术编号：6192398
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开一种基板检测装置，包括检查部、测量部和判定部；检查部与测量部并列设置，其中检查部用于对基板进行检查并检出缺陷，包括用于获取基板灰度值的图像采集模块和用于承载图像采集模块的第一支架；测量部用于对基板的缺陷进行测量，包括用于获取基板特性值的图像测量模块和用于承载图像测量模块的第二支架；判定部分别与检查部和测量部连接，测量部对检查部确定的缺陷位置进行特性值测量，根据缺陷位置特性值判定缺陷的等级。本实用新型改变现有检查和测量独立设计的结构，将检查设备...
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