技术编号:6194102
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种微机械真空传感器,包括设置在微桥面单元两端的第一导热桥臂及第二导热桥臂,第一导热桥臂及第二导热桥臂分别通过第一连接桥墩及第二连接桥墩与第一支撑点及第二支撑点相连,所述第一支撑点及所述第二支撑点位于微桥面单元的下方并与微桥面单元之间存在间隙;微桥面单元的上表面上设置有电阻式温敏涂层,所述微桥面单元上表面的相对两侧分别设置有桥面电气连接走线,第一导热桥臂及第二导热桥臂上分别设置有与相应的桥面电气连接走线相连的桥臂电气连接走线,两条桥臂电气连接...
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