技术编号:6194656
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型为了解决某些生物化学物质的探测问题,一种嵌有FP腔的MZ干涉式光学生化传感芯片,主要包括MZ干涉单元,所述MZ干涉单元包括两段光波导,在其中一段光波导上包含有光栅FP腔,所述MZ干涉单元与光栅FP腔具有不相同的自由光谱范围,二者光学耦合连接。本实用新型的嵌有FP腔的MZ干涉式光学生化传感芯片通过在顶部的单晶硅层形成两个自由光谱范围不同,且以光栅FP光学谐振腔(光栅FP腔)嵌入在MZ干涉结构(MZ干涉单元)的一个臂(其中一段波导)中相连接的方式形成...
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