检测台及其光学检测装置制造方法技术资料下载

技术编号:6198331

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本实用新型公开了一种检测台及其光学检测装置,应用于光学检测装置,且具有一放置平面用以提供一待测物放置。检测台为透光结构,其包含一第一沟槽及一第二沟槽。第一沟槽围绕设置于放置平面的外围,且连接至少一第一气孔,至少一第一气孔连接一抽气模块。第二沟槽围绕设置于放置平面,且位于第一沟槽的内侧。第二沟槽连接至少一第二气孔,且至少一第二气孔连接抽气模块。其中当抽气模块进行动作时,通过第一沟槽及第二沟槽,而将待测物与检测台间的空气抽出,进而使待测物平贴于放置平面。将待测...
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